1-100級的電子廠凈化車間，均采用單向流的氣流組織送風方式，即電子廠凈化車間內的氣流在同一截面的任意一點，氣流的方向和速度均保持一致，這樣可以使清潔空氣象“活塞”一樣，將室內的塵埃粒子以最快的速度帶走。要實現“活塞”的效果，高效過濾器需要布滿屋頂才可實現單向流的氣流組織方式。 非單向流電子廠凈化車間（1000-10萬級）的氣流組織方向和100級以上的電子廠電子廠凈化車間不同，室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動的，伴有回流或渦流，它主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內空氣，將室內的污染逐漸排出，來實現凈化。不同的凈化等級，主要是依靠單位時間內所送風量的不同來實現的。
 
一、凈化車間結構材料
1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2. 地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
3. 送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4. 電子廠凈化車間地面通常用PVC防靜電地板、環氧樹脂地坪漆、防靜電高架地板居多。
二、設計依據及需求
1. 與生產工藝相關的數據和資料室內溫濕度的基數和精度； 需要與工藝設計人員反復確認合理的參數，不要一味追求高標準，因為基數和精度對投資和運行費用有極大的影響，需滿足工藝的要求。
2. 工程所在地的氣象資料和周圍環境資料；
3. 生產過程中會產生的廢熱和有毒有害的廢氣的相關資料；
a.確定廢熱氣體的溫度和排風的量。
b.有毒有害氣體的濃度、溫度和危害程度及排風的風量，并要考慮處理的對策。
c.有毒有害氣體的具體化學成分。
d.確定廢熱氣體的排放時間。
4. 生產工藝對電、水和特種氣體、大宗氣體的要求；
（1）高純氣體管徑應按氣體容許流量、壓力或生產工藝設備確定，管外徑不宜小于6mm，管厚不宜小于1mm；
（2）不得出現不易吹除的“盲管”等死空間；
（3）管道系統應設置吹掃口和取樣口。
5. 工程建筑、結構和工藝設計的平剖面圖
a. 工藝設計，電子廠凈化車間裝修用于的工藝種類繁多，但是，總的原則是生產工藝設備的安裝和維修，生產工藝的流程，操作程 序，人員流動路線和物料傳輸布置時，應避免發生氣流干擾和交叉污染的發生，了解生產工藝的生產時間。
b. 在滿足生產工藝和微震、噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度要求高的電子廠電子廠凈化車間裝修(區)宜靠近空調機房布置，空 氣潔凈度等級相同的工序或工作(區)宜集中布置。
c. 應根據工藝設計要求設置運輸、安裝、維修的通道或檢修門。
d. 人員出入電子廠凈化車間裝修應該設置人員凈化裝置。
e. 物料，設備出入電子廠凈化車間裝修要設置凈化設施，設置氣閘室或傳遞窗。
f. 潔凈區域內設置真空泵時，應有除油裝置，尾氣排放應接至室外，傳輸有可燃氣體的系統，其濃度超過爆炸下限20%時應有尾氣 處理裝置，應去除或稀釋可燃氣體的成份，傳輸易燃自燃化學品或高濃度氧氣時，應采用不燃的泵油，并配置氮氣吹掃控制閥，并且與工藝設備的操作系統聯鎖。